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    特種氣體系統的設計與施工要求

    發布時間: 2023-10-11  點擊次數: 1845次


    特種氣體是指那些在特定領域中應用、對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。在半導體器件,尤其是大規模和超大規模集成電路的生產過程中用途廣泛。博泰小編帶大家了解相關知識。


    一、分類 

    特種氣體根據氣體性質不同一般分為:惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體。根據供應包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。


    二、特種氣體管道的施工 

    特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接,同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序,對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。最后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。


    三、供氣系統的選擇 

    1、簡單供氣系統 
    簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單,通常不需要連續性供氣,對氣體供應系統的投資預算低。


    2、常規供氣系統 
    常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產線,發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。對氣體純度控制的要求不苛刻,系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單。


    3、大宗特氣供氣系統

    大宗特氣供應系統采用全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空。注意安全防護措施,防止泄漏偵測,設置遠程緊急切斷專用氮氣吹掃起源等等。



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